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化工字典
电子级磷酸
化学式: H3PO4
分子量: 97.99
规格: 85%浓度,金属小于100ppb
性状: 无色无味透明液体,中强酸
用途:主要用于半导体晶圆蚀刻,去除氮化硅层结构和清洗作用。
包装贮存: 20L、200L、IBC吨桶以及槽车包装